山东建筑大学学报2010，Vol.25Issue(1)：10-13,4.
射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜
ZnO optical waveguide films prepared by rf magnetron sputtering
摘要
关键词
ZnO薄膜/射频磁控溅射/光波导/X射线衍射分类
数理科学引用本文复制引用
李爽,王凤翔,付刚,季艳菊,赵俊卿..射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜[J].山东建筑大学学报,2010,25(1):10-13,4.基金项目
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447) （2006BSB01447）
山东省自然科学基金项目(ZR2009FM031) （ZR2009FM031）
