金刚石与磨料磨具工程2010，Vol.30Issue(1)：56-59,66,5.DOI:10.3969/j.issn.1006-852X.2010.01.014
脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究
Study on impulse voltage bias enhanced hot filament method for diamond film growth
摘要
关键词
金刚石膜/热丝CVD/脉冲偏压分类
化学化工引用本文复制引用
胡东平,季锡林,梅军..脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2010,30(1):56-59,66,5.基金项目
国防科技工业民用专项工程研制项目 （）
