电子器件2010，Vol.33Issue(1)：1-4,4.
直流磁控溅射ZnO:Al薄膜过程中氧气浓度的研究
The Effect of Oxygen Concentration to DC Magnetron Sputtering ZnO:Al Films
摘要
关键词
直流磁控溅射/ZAO薄膜/电阻率/透过率分类
通用工业技术引用本文复制引用
韦新颖,祁康成,袁红梅,张良燕..直流磁控溅射ZnO:Al薄膜过程中氧气浓度的研究[J].电子器件,2010,33(1):1-4,4.基金项目
四川省应用基础研究项目资助(2009JY0054)"ZnO/a-Si异质结太阳能电池研究" （2009JY0054）
