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紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理

刘光辉 薛春荣 晋云霞 张伟丽 方明 贺洪波 范正修

强激光与粒子束2010,Vol.22Issue(8):1766-1770,5.
强激光与粒子束2010,Vol.22Issue(8):1766-1770,5.DOI:10.3788/HPLPB201002208.1766

紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理

Characterization of optical and microstructure properties of ultraviolet Sc2O3 thin films and their damage mechanism at high laser power

刘光辉 1薛春荣 2晋云霞 1张伟丽 2方明 1贺洪波 1范正修1

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,强激光材料重点实验室,上海,201800
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

Sc2O3薄膜/沉积温度/光学性能/结构性能/激光损伤阈值/破坏机理

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘光辉,薛春荣,晋云霞,张伟丽,方明,贺洪波,范正修..紫外Sc2O3薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理[J].强激光与粒子束,2010,22(8):1766-1770,5.

基金项目

国家自然科学基金项目(10704049) (10704049)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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