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基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计

潘海彬 丁建宁 李伯全 罗开玉 王小飞

江苏大学学报（自然科学版）2010，Vol.31Issue(4)：447-451,5.
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江苏大学学报（自然科学版）2010，Vol.31Issue(4)：447-451,5.DOI:10.3969/j.issn.1671-7775.2010.04.016

基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计

Design of thin film resistivity measurement system based on virtual instrumentation technology

潘海彬 1丁建宁 2李伯全 2罗开玉 3王小飞1

作者信息

  • 1. 江苏大学,机械工程学院,江苏,镇江,212013
  • 2. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013
  • 3. 江苏工业学院,低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏,常州,213164
  • 折叠

摘要

关键词

虚拟仪器/方块电阻/薄膜电阻率/四探针双电测组合法/范德堡修正因子

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

潘海彬,丁建宁,李伯全,罗开玉,王小飞..基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计[J].江苏大学学报（自然科学版）,2010,31(4):447-451,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50775101) （50775101）

江苏省高校"青蓝工程"项目(2008-04) （2008-04）

江苏省科技支撑计划项目(BE20080030) （BE20080030）

江苏大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSTPCD

1671-7775

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