长春大学学报（自然科学版）2010，Vol.20Issue(3)：10-12,3.
沉积温度对TiN/SiNx多层膜结构及力学性能的影响
Influences of deposition temperature on the TiN/SiNx multilayer films structure and mechanical properties
摘要
关键词
TiN/SiNx纳米多层膜/界面结构/择优取向分类
数理科学引用本文复制引用
安涛..沉积温度对TiN/SiNx多层膜结构及力学性能的影响[J].长春大学学报（自然科学版）,2010,20(3):10-12,3.基金项目
吉林大学基本科研业务费--平台基地建设项目(421060272467) （421060272467）
