电子学报2010，Vol.38Issue(6)：1410-1413,4.
集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析
Analysis of the Electrostatic Capacitance of an Integrated Capacitive Sensor's External Electrons
摘要
关键词
电容式传感器/静电电容值/边界电极/保角变换分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王阳,陈军宁,柯导明..集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析[J].电子学报,2010,38(6):1410-1413,4.基金项目
东南大学MEMS教育部重点实验室开放课题"小尺寸硅基压力传感器工艺与物理机制的研究" （）
宁波市自然基金项目(No.2006A610010) （No.2006A610010）
