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压电型微固体模态陀螺的相位差检测

何程鹄 吴校生 陈文元 张卫平

传感技术学报2010,Vol.23Issue(7):978-983,6.
传感技术学报2010,Vol.23Issue(7):978-983,6.

压电型微固体模态陀螺的相位差检测

Detection of Phase Difference for Piezoelectric Solid-State Micromachined Modal Gyroscope

何程鹄 1吴校生 1陈文元 1张卫平1

作者信息

  • 1. 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240
  • 折叠

摘要

关键词

微陀螺/相位差/比较器/压电/模态

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何程鹄,吴校生,陈文元,张卫平..压电型微固体模态陀螺的相位差检测[J].传感技术学报,2010,23(7):978-983,6.

基金项目

国家自然科学基金资助(50805096/E051202) (50805096/E051202)

国家科技重点实验室基金项目资助(2009年) (2009年)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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