激光外差干涉的非线性误差补偿OA北大核心CSCDCSTPCD
Compensation of nonlinear errors in laser heterodyne interferometers
为了补偿用激光外差干涉法进行纳米测量产生的非线性误差,进行了非线性误差补偿的实验研究.根据镀膜实体角锥棱镜反射光的偏振特性,推导出当激光器出射光束存在偏振椭圆化时,测量角锥棱镜以运动方向为轴线的轴向旋转对非线性误差一次谐波的影响模型.分析表明,测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转会减小非线性误差一次谐波.实验显示,当测量角锥棱镜轴向旋转角从0°增加到100°时,非线性误差从3.48 nm减小到1.39 nm,实现了非线性误差一次谐波减小为原来…查看全部>>
陈洪芳;钟志;丁雪梅
北京工业大学,机械工程与应用电子技术学院,北京,100124哈尔滨工程大学,信息与通信工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001哈尔滨工业大学,超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
电子信息工程
激光外差干涉术非线性误差一次谐波误差补偿
《光学精密工程》 2010 (5)
1043-1047,5
国家自然科学基金资助项目仪器专项(No. 50627501)
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