现代电子技术2010，Vol.33Issue(17)：177-179,183,4.
薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
Similar Feed-forward Decoupling & PID Controlling of Film Thickness System
摘要
关键词
薄膜厚度系统/类前馈解耦/PID控制/多变量耦合分类
电子信息工程引用本文复制引用
隆媛媛,蒋品群,李廷会,李杨帆..薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制[J].现代电子技术,2010,33(17):177-179,183,4.基金项目
广西教育厅科研项目(200608MS133) （200608MS133）
广西高校重点建设实验室资助项目(200912) （200912）
