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倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散

陆裕东 何小琦 恩云飞 王歆 庄志强

物理学报2010,Vol.59Issue(5):3438-3444,7.
物理学报2010,Vol.59Issue(5):3438-3444,7.

倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散

Directional diffusion of atoms in metal strips/bump interconnects of flip chip

陆裕东 1何小琦 2恩云飞 3王歆 3庄志强1

作者信息

  • 1. 华南理工大学材料学院,特种功能材料教育部重点实验室,广州510640
  • 2. 工业和信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州510610
  • 3. 工业和信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州510610
  • 折叠

摘要

关键词

倒装芯片/凸点/电迁移/扩散

引用本文复制引用

陆裕东,何小琦,恩云飞,王歆,庄志强..倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散[J].物理学报,2010,59(5):3438-3444,7.

基金项目

中国博士后科学基金(批准号:20080430825)、国家预研基金(批准号:51323060305)和信息产业部电子第五研究所科技发展基金(批准号:XF0726130)资助的课题. (批准号:20080430825)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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