安徽大学学报（自然科学版）2010，Vol.34Issue(4)：59-63,5.
钽掺杂对氧化锌透明导电薄膜结构和电学特性的影响
Effect of tantalum-doping on microstructure and electrical Properties of ZnO transparent conducting film
摘要
关键词
Ta-ZnO 薄膜/射频磁控溅射/微结构/电阻率分类
物理学引用本文复制引用
陈进军,曹铃,宋学萍,孙兆奇..钽掺杂对氧化锌透明导电薄膜结构和电学特性的影响[J].安徽大学学报（自然科学版）,2010,34(4):59-63,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50872001 （）
50642038) （）
教育部博士点专项基金资助项目(20060357003) （20060357003）
安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029) （2004Z029）
贵州省科学技术基金项目资助项目([2009]2117) （[2009]2117）
