红外与毫米波学报2010，Vol.29Issue(4)：251-254,4.
非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究
THICKNESS RATIO OF SUPPORT MEMBRANES FOR UNCOOLED INFRARED MICROBOLOMETER
摘要
关键词
非制冷红外成像/支撑层/微测辐射热计/微桥结构/厚度比分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许路加,胡明,杨海波,杨孟琳,张洁..非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究[J].红外与毫米波学报,2010,29(4):251-254,4.基金项目
国家自然科学基金(60371030,60771019) （60371030,60771019）
天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室开放基金(ACMT-2008-05) （ACMT-2008-05）
