无机材料学报2010，Vol.25Issue(7)：748-752,5.DOI:10.3724/SP.J.1077.2010.00748
立方氮化硼薄膜中的氧杂质
Oxygen Impurity in Cubic Boron Nitride Thin Films Prepared by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
立方氮化硼薄膜/等离子体增强化学气相生长/红外光谱/氧杂质分类
化学化工引用本文复制引用
杨杭生,邱发敏,聂安民..立方氮化硼薄膜中的氧杂质[J].无机材料学报,2010,25(7):748-752,5.基金项目
国家自然科学基金(50772096) （50772096）
