电子学报2010，Vol.38Issue(5)：1053-1057,5.
新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Force for Increasing the Initial Sensing Capacitance
摘要
关键词
电容式加速度计/惯性传感器/高精度/深度粒子反应刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董林玺,焦继伟,颜海霞,孙玲玲..新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究[J].电子学报,2010,38(5):1053-1057,5.基金项目
国家自然科学基金(No.60506015) （No.60506015）
浙江省自然科学基金(N0.Y107105) （N0.Y107105）
传感技术联合国家重点实验室开发基金 （）
