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CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展

安希忠 李长兴 刘国权 沈峰满 李友清

中南大学学报（自然科学版）2010，Vol.41Issue(3)：896-905,10.
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中南大学学报（自然科学版）2010，Vol.41Issue(3)：896-905,10.

CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展

Theoretical study progress of gas phase chemistry in CVD diamond film reactor

安希忠 1李长兴 1刘国权 2沈峰满 1李友清1

作者信息

  • 1. 东北大学,材料与冶金学院,辽宁,沈阳,110004
  • 2. 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083
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摘要

关键词

金刚石膜/化学气相沉积/气相化学

引用本文复制引用

安希忠,李长兴,刘国权,沈峰满,李友清..CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展[J].中南大学学报（自然科学版）,2010,41(3):896-905,10.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(59872003) （59872003）

中南大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

1672-7207

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