机械制造与自动化2010，Vol.40Issue(3)：106-110,5.
皮秒激光CVD金刚石膜打孔温度场仿真
Simulation Study of Temperature Field of Diamond Film Drilled by Picosecond Pulse Laser
摘要
关键词
金刚石膜/皮秒激光打孔/ANSYS/仿真/温度场分类
机械制造引用本文复制引用
何家源,徐锋,吴小军,段振中,周云霞,姚佳,左敦稳..皮秒激光CVD金刚石膜打孔温度场仿真[J].机械制造与自动化,2010,40(3):106-110,5.基金项目
南京航空航天大学大学生创新基金(20080109107261) （20080109107261）
江苏省精密制造工程技术研究开发中心开放基金(2K-08-30-01) （2K-08-30-01）
