宇航材料工艺2010，Vol.40Issue(3)：9-12,4.
薄膜硬度计算方法
Calculating Method in Thin Films Hardness
周亮 1刘亚龙 1聂文杰 1郭永泽1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
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周亮,刘亚龙,聂文杰,郭永泽..薄膜硬度计算方法[J].宇航材料工艺,2010,40(3):9-12,4.基金项目
哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSRIF.2008.42)资助项目 （HIT.NSRIF.2008.42）
