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LiH薄膜制备技术进展

雷洁红 段浩 唐永建

四川理工学院学报（自然科学版）2010，Vol.23Issue(4)：491-493,3.
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四川理工学院学报（自然科学版）2010，Vol.23Issue(4)：491-493,3.

LiH薄膜制备技术进展

Preparation Technology of Lithium Hydride Thin Film

雷洁红 1段浩 2唐永建3

作者信息

  • 1. 西华师范大学物理与电子信息学院,四川,南充,637002
  • 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 3. 绵阳师范学院化学与化学工程学院,四川,绵阳,621000
  • 折叠

摘要

关键词

氢化锂薄膜/制备技术/表面粗糙度/脉冲激光气相沉积

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

雷洁红,段浩,唐永建..LiH薄膜制备技术进展[J].四川理工学院学报（自然科学版）,2010,23(4):491-493,3.

基金项目

国家高技术研究发展计划(863)资助课题 （863）

四川理工学院学报（自然科学版）

2096-7543

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