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单能电子测厚中最佳取谱方法的研究

王叶 吴丽萍 姚振强

四川大学学报(自然科学版)2010,Vol.47Issue(3):559-562,4.
四川大学学报(自然科学版)2010,Vol.47Issue(3):559-562,4.DOI:10.3969/j.issn.0490-6756.2010.03.029

单能电子测厚中最佳取谱方法的研究

Study on choice of the best spectrum unscrambling method in thickness measurements using mono-energetic electrons

王叶 1吴丽萍 1姚振强1

作者信息

  • 1. 四川大学物理科学与技术学院,成都,610064
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摘要

关键词

单能电子/测厚/最佳取谱方法

分类

数理科学

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王叶,吴丽萍,姚振强..单能电子测厚中最佳取谱方法的研究[J].四川大学学报(自然科学版),2010,47(3):559-562,4.

四川大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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