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半导体生产线建模方法与调度策略研究进展

曹政才 乔非 吴启迪

电子学报2006,Vol.34Issue(z):2518-2525,8.
电子学报2006,Vol.34Issue(z):2518-2525,8.

半导体生产线建模方法与调度策略研究进展

Research Progress of Modeling Methods and Scheduling Strategies for Semiconductor Wafer Fabrication

曹政才 1乔非 1吴启迪1

作者信息

  • 1. 同济大学CIMS研究中心,上海,200092
  • 折叠

摘要

关键词

半导体生产线/建模/调度/重调度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曹政才,乔非,吴启迪..半导体生产线建模方法与调度策略研究进展[J].电子学报,2006,34(z):2518-2525,8.

基金项目

国家自然科学基金(No.70531020,60374005) (No.70531020,60374005)

国家"973"重点基础研究发展规划项目(No.2002CB312202) (No.2002CB312202)

电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0372-2112

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