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复合电沉积超薄金刚石切割片磨粒分布的均匀性

高航 刘金龙

材料科学与工程学报2010，Vol.28Issue(4)：477-480,497,5.
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材料科学与工程学报2010，Vol.28Issue(4)：477-480,497,5.

复合电沉积超薄金刚石切割片磨粒分布的均匀性

Abrasive Particle Distribution in Co-electroplated Ultra-thin Diamond Dicing Tool

高航 1刘金龙1

作者信息

  • 1. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验宣,辽宁,大连,116024
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摘要

关键词

切割片/金刚石/磨粒分布/复合电沉积

分类

化学化工

引用本文复制引用

高航,刘金龙..复合电沉积超薄金刚石切割片磨粒分布的均匀性[J].材料科学与工程学报,2010,28(4):477-480,497,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50575032) （50575032）

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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