武汉工程大学学报2010，Vol.32Issue(5)：70-73,4.DOI:10.3969/j.issn.1674-2869.2010.05.019
PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究
The production methods study of SiOx coating film deposited on PET substrate
刘玉兰 1汪建华 1熊礼威 1刘长林1
作者信息
- 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430074
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摘要
关键词
PET/氧化硅薄膜/磁控溅射/PECVD/阻隔性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘玉兰,汪建华,熊礼威,刘长林..PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究[J].武汉工程大学学报,2010,32(5):70-73,4.
