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基于LM20测头的接触式干涉仪智能化改造

古耀达 郭彤 高顺民 黄志斌

现代科学仪器Issue(2):21-23,3.
现代科学仪器Issue(2):21-23,3.

基于LM20测头的接触式干涉仪智能化改造

Intelligentized Reconstruction of Contact Type Interferometer Based on LM20 Probe

古耀达 1郭彤 2高顺民 2黄志斌2

作者信息

  • 1. 广州市计量检测技术研究院,广东,广州,510030
  • 2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

接触式干涉仪/LM20测头/Delphi控制界面/量块检定

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

古耀达,郭彤,高顺民,黄志斌..基于LM20测头的接触式干涉仪智能化改造[J].现代科学仪器,2010,(2):21-23,3.

基金项目

国家质检总局科技计划项目(2008QK260)和广东省科技攻关项目(2009B010900024) (2008QK260)

现代科学仪器

OACSTPCD

1003-8892

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