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裂纹对Si衬底GaN基LED薄膜应力状态的影响

肖宗湖 张萌 熊传兵 江风益 王光绪 熊贻婧 汪延明

人工晶体学报2010,Vol.39Issue(4):895-899,5.
人工晶体学报2010,Vol.39Issue(4):895-899,5.

裂纹对Si衬底GaN基LED薄膜应力状态的影响

Influence of Crack on Stress State of GaN Based LED on Si Substrates

肖宗湖 1张萌 1熊传兵 2江风益 1王光绪 2熊贻婧 1汪延明2

作者信息

  • 1. 南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心,南昌,330047
  • 2. 晶能光电(江西)有限公司,南昌,330096
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摘要

关键词

Si衬底/InGaN/GaN/LED/裂纹/应力

分类

数理科学

引用本文复制引用

肖宗湖,张萌,熊传兵,江风益,王光绪,熊贻婧,汪延明..裂纹对Si衬底GaN基LED薄膜应力状态的影响[J].人工晶体学报,2010,39(4):895-899,5.

基金项目

教育部长江学者与创新团队发展计划资助(IRT0730) (IRT0730)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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