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相变存储材料Ge1 Sb2 Te4和Ge2 Sb2 Te5薄膜的结构和电学特性研究

廖远宝 徐岭 杨菲 刘文强 刘东 徐骏 马忠元 陈坤基

物理学报2010,Vol.59Issue(9):6563-6568,6.
物理学报2010,Vol.59Issue(9):6563-6568,6.

相变存储材料Ge1 Sb2 Te4和Ge2 Sb2 Te5薄膜的结构和电学特性研究

Study of structural and electrical properties of phase-change materials Ge1 Sb2 Te4 and Ge2 Sb2 Te5 thin films

廖远宝 1徐岭 1杨菲 1刘文强 1刘东 1徐骏 1马忠元 1陈坤基1

作者信息

  • 1. 南京大学物理学院,南京微结构国家实验室,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093
  • 折叠

摘要

关键词

硫系相变材料/Ge1Sb2Te4/Ge2Sb2Te5

引用本文复制引用

廖远宝,徐岭,杨菲,刘文强,刘东,徐骏,马忠元,陈坤基..相变存储材料Ge1 Sb2 Te4和Ge2 Sb2 Te5薄膜的结构和电学特性研究[J].物理学报,2010,59(9):6563-6568,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60976001和50872051),江苏省自然科学基金(批准号:BK2008253),国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB935401和2010CB934402)和高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20090091110010)资助的课题. (批准号:60976001和50872051)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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