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双振镜点扫描三维形貌测量系统

李旭东 崔磊 赵慧洁 姜宏志

光学精密工程2010,Vol.18Issue(7):1648-1653,6.
光学精密工程2010,Vol.18Issue(7):1648-1653,6.DOI:10.3788/OPE.20101807.1648

双振镜点扫描三维形貌测量系统

Three-dimensional shape measurement system based on dual oscillating mirrors with point scanning

李旭东 1崔磊 1赵慧洁 1姜宏志1

作者信息

  • 1. 北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,精密光机电一体化技术教育部重点实验室,北京,100191
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摘要

关键词

三维形貌测量/双振镜扫描/激光三角法/李萨如扫描/均值误差

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李旭东,崔磊,赵慧洁,姜宏志..双振镜点扫描三维形貌测量系统[J].光学精密工程,2010,18(7):1648-1653,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.60802044) (No.60802044)

中国航天科技集团公司航天科技创新基金资助项目 ()

长江学者和创新团队发展计划资助(No.IRT0705) (No.IRT0705)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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