人工晶体学报2010，Vol.39Issue(4)：1072-1077,6.
立式MOCVD反应室中一种刻槽基座的热分析
Thermal Analysis of Susceptor Structure with Ring Groove in Vertical MOCVD Reactor
摘要
关键词
MOCVD/感应加热/热分析/基座分类
通用工业技术引用本文复制引用
李志明,郝跃,张进成,陈炽,薛军帅,常永明,许晟瑞,毕志伟..立式MOCVD反应室中一种刻槽基座的热分析[J].人工晶体学报,2010,39(4):1072-1077,6.基金项目
国家自然科学基金重点项目(No.60736033) （No.60736033）
国防预研基金(No.51308030102) （No.51308030102）
