强激光与粒子束2010，Vol.22Issue(8)：1887-1890,4.DOI:10.3788/HPLPB201002208.1887
非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜
Non-symmetric magnetic mirror field ECR oxygen plasma etching CVD diamond films
摘要
关键词
非对称磁镜场/电子回旋共振/氧等离子体/刻蚀/化学气相沉积分类
化学化工引用本文复制引用
谭必松,马志斌,沈武林,吴振辉..非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜[J].强激光与粒子束,2010,22(8):1887-1890,4.基金项目
国家自然科学基金项目(10875093) （10875093）
