中国光学与应用光学2010，Vol.3Issue(3)：279-284,6.
丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿
Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer
摘要
关键词
光栅刻划机/丝杠/双频激光干涉仪/阿贝误差分类
矿业与冶金引用本文复制引用
齐向东,滕丽华,于海利..丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿[J].中国光学与应用光学,2010,3(3):279-284,6.基金项目
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02) （No.2006BAK03A02）
国家重大科研装备研制项目(No.ZBYZ2008-1) （No.ZBYZ2008-1）
中国科学院重大科研装备研制项目(No.YZ200804) （No.YZ200804）
吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005) （No.09ZDGG005）
吉林省科技发展计划项目(No.20070523.No.20086013) （No.20070523.No.20086013）
