物理学报2010，Vol.59Issue(9)：6390-6393,4.
铒离子注入6H-SiC的横向离散研究
Investigation of the lateral spread of Er ions implanted in 6H-SiC
摘要
关键词
离子注入/6H-SiC/卢瑟福背散射技术/横向离散引用本文复制引用
秦希峰,王凤翔,梁毅,付刚,赵优美..铒离子注入6H-SiC的横向离散研究[J].物理学报,2010,59(9):6390-6393,4.基金项目
山东建筑大学校内基金(批准号:XN070109)资助的课题. （批准号:XN070109）
