激光技术2010，Vol.34Issue(5)：647-649,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.019
波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响
Influence of wavelength and atmosphere on laser induced microstructure of silicon surface
摘要
关键词
激光物理/表面微结构/纳秒激光辐照/硅分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁春华,李晓红,唐多昌,杨宏道..波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响[J].激光技术,2010,34(5):647-649,3.基金项目
四川省教育厅青年基金资助项目(08zb006) （08zb006）
西南科技大学博士研究基金资助项目(06zx7113) （06zx7113）
