激光技术2010,Vol.34Issue(5):670-672,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.025
应力对薄膜偏振分束镜性能的影响及改进工艺
Effect of stress on performance of thin film polarizing beam splitters and improvement process techniques
摘要
关键词
薄膜/偏振分束镜/应力/光斑/消光比分类
数理科学引用本文复制引用
王庆,吴福全,郝殿中,齐瑞云,吴闻迪,彭捍东,尹延学..应力对薄膜偏振分束镜性能的影响及改进工艺[J].激光技术,2010,34(5):670-672,3.基金项目
山东省教育厅科技计划资助项目(J06P06) (J06P06)