东南大学学报（自然科学版）2010，Vol.40Issue(4)：750-754,5.DOI:10.3969/j.issn.1001-0505.2010.04.017
体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法
Compensation method for convex corners on (100) substrate in bulk silicon wet etching process
摘要
关键词
(110)衬底/凸角补偿/拓扑结构/通用方法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张涵,李伟华..体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法[J].东南大学学报（自然科学版）,2010,40(4):750-754,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z342). （863计划）
