材料与冶金学报2010，Vol.9Issue(2)：148-153,6.
单晶硅和多晶硅切割废料浆的回收
Recovery of slurry produced in cutting mono-/poly-silicon
邢鹏飞 1郭菁 2刘燕 1庄艳歆 1涂赣峰1
作者信息
- 1. 东北大学,材料与冶金学院,沈阳,110004
- 2. 东北大学,理学院,沈阳,110004
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摘要
关键词
单晶硅/多晶硅/切割料浆/碳化硅/聚乙二醇/高纯硅/回收分类
通用工业技术引用本文复制引用
邢鹏飞,郭菁,刘燕,庄艳歆,涂赣峰..单晶硅和多晶硅切割废料浆的回收[J].材料与冶金学报,2010,9(2):148-153,6.
