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干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

徐晨 陈磊 乌兰图雅

计量学报2010,Vol.31Issue(3):219-222,4.
计量学报2010,Vol.31Issue(3):219-222,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2010.03.06

干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

Rotational Variant Error Removal of the Reference Flat

徐晨 1陈磊 1乌兰图雅1

作者信息

  • 1. 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/非旋转对称误差/Zernike多项式拟合/旋转不变性/绝对检验

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

徐晨,陈磊,乌兰图雅..干涉仪标准面非旋转对称误差的消除[J].计量学报,2010,31(3):219-222,4.

基金项目

江苏省六大人才高峰项目(06-E-030) (06-E-030)

教育部博士点基金(20070288010) (20070288010)

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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