传感技术学报2010，Vol.23Issue(8)：1066-1069,4.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2010.08.004
电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究
Research on Closed-Loop Control for Resonant MEMS Pressure Sensor with Electromagnetic Excitation
摘要
关键词
谐振式压力传感器/电磁激励/检测速度谐振频率/闭环控制/零相移分类
计算机与自动化引用本文复制引用
刘猛,王军波,李玉欣,陈德勇..电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究[J].传感技术学报,2010,23(8):1066-1069,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60772018) （60772018）
国家"863"计划项目资助(2007AA4Z318) （2007AA4Z318）
