狭缝宽度的衍射法测量研究

何波郑小兵李新戚涛邹鹏

大气与环境光学学报2010，Vol.5Issue(5)：380-389,10.

大气与环境光学学报2010，Vol.5Issue(5)：380-389,10.DOI:10.3969/j.issn.1673-6141.2010.05.008

Investigation of Diffraction Method for Slit Width Measurement

何波 ¹郑小兵 ¹李新 ¹戚涛 ¹邹鹏¹

作者信息

狭缝测量/NMOS线列探测器/光电检测系统/最小二乘法

信息技术与安全科学

何波,郑小兵,李新,戚涛,邹鹏..狭缝宽度的衍射法测量研究[J].大气与环境光学学报,2010,5(5):380-389,10.

国家863计划(2007AA12Z106)、安徽省自然科学基金(090412042)资助（2007AA12Z106）

ISSN：1673-6141

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