强激光与粒子束2010，Vol.22Issue(11)：2749-2753,5.DOI:10.3788/HPLPB20102211.2749
不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构
Silicon surface microstructures induced by femtosecond laser pulses in different background gases
摘要
关键词
飞秒激光/激光诱导/硅/表面微结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁春华,李晓红,唐多昌,杨宏道,李国强..不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构[J].强激光与粒子束,2010,22(11):2749-2753,5.基金项目
四川省教育厅青年基金项目(08zb006) （08zb006）
西南科技大学博士研究基金项目(06zx7113) （06zx7113）
