红外与毫米波学报2010，Vol.29Issue(5)：333-336,346,5.
ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究
MICROSTRUCTURE AND RESISTING LASER DAMAGE PROPERTY OF ZrO2 FILMS
摘要
关键词
ZrO2薄膜/电子束蒸发/氧分压/激光损伤阈值分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘安平,韩伟峰,黄茂,罗庆春..ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究[J].红外与毫米波学报,2010,29(5):333-336,346,5.基金项目
中央高校基本科研业务费资助(CDJRC10100003) （CDJRC10100003）
