电子器件2010，Vol.33Issue(5)：531-535,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2010.05.002
直流磁控溅射法制备非晶态氧化钒薄膜光学特性研究
Study on Optical Properties of Amorphous Vanadium Oxide Thin Films by DC Magnetron Sputtering
摘要
关键词
V2O5薄膜/衬底温度/磁控溅射/光学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杜明军,吴志明,罗振飞,许向东,王涛,蒋亚东..直流磁控溅射法制备非晶态氧化钒薄膜光学特性研究[J].电子器件,2010,33(5):531-535,5.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60736005) （60736005）
