强激光与粒子束2010，Vol.22Issue(9)：2181-2185,5.DOI:10.3788/HPLPB20102209.2181
低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术
Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage
摘要
关键词
亚表面损伤层/共焦显微成像/光散射/化学腐蚀/刻蚀速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马彬,沈正祥,张众,贺鹏飞,季一勤,刘华松,刘丹丹,王占山..低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术[J].强激光与粒子束,2010,22(9):2181-2185,5.基金项目
国家自然科学基金项目(10825521) （10825521）
上海市科委基金项目(07DZ22302) （07DZ22302）
上海市博士后科研资助计划(10R21416000) （10R21416000）
江苏省现代光学技术省重点实验室开放课题(KJS0901) （KJS0901）
