强激光与粒子束2010，Vol.22Issue(9)：2087-2091,5.DOI:10.3788/HPLPB20102209.2087
用于高功率激光装置的压电步进驱动器
Piezoelectric stepper actuator in high power laser facility
王斌 1张涛 2杨朋千 1王勇 2朱健强1
作者信息
- 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800
- 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
- 折叠
摘要
关键词
层叠式压电陶瓷/柔性铰链/压电步进驱动器/高功率激光装置分类
机械制造引用本文复制引用
王斌,张涛,杨朋千,王勇,朱健强..用于高功率激光装置的压电步进驱动器[J].强激光与粒子束,2010,22(9):2087-2091,5.
