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Si衬底GaN基LED外延薄膜转移至金属基板的应力变化

熊贻婧 张萌 熊传兵 肖宗湖 王光绪 汪延明 江风益

发光学报2010,Vol.31Issue(4):531-537,7.
发光学报2010,Vol.31Issue(4):531-537,7.

Si衬底GaN基LED外延薄膜转移至金属基板的应力变化

Investigation of Strain of GaN Light-emitting Diode Films Transferred to Metal Substrate from Si (111)

熊贻婧 1张萌 1熊传兵 1肖宗湖 1王光绪 1汪延明 1江风益1

作者信息

  • 1. 南昌大学,教育部发光材料与器件工程研究中心,江西,南昌,330047
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摘要

关键词

金属基板/Si衬底/GaN/薄膜/应力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

熊贻婧,张萌,熊传兵,肖宗湖,王光绪,汪延明,江风益..Si衬底GaN基LED外延薄膜转移至金属基板的应力变化[J].发光学报,2010,31(4):531-537,7.

基金项目

教育部长江学者与创新团队发展计划(IRT0730)资助项目 (IRT0730)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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