黑龙江科技学院学报2009，Vol.19Issue(6)：465-469,5.
采用线阵型光学传感器的晶圆预对准方法
Wafer pre-aligning method based on linear optical sensor
摘要
关键词
光学传感器/晶圆预对准/Levenberg-Marquardt算法/最小二乘圆拟合分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周杰,韩龙..采用线阵型光学传感器的晶圆预对准方法[J].黑龙江科技学院学报,2009,19(6):465-469,5.基金项目
黑龙江省自然科学基金资助项目(E2007-34) （E2007-34）
