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石墨靶材电流对Ti(C, N)多层膜微观组织及力学性能的影响

李斌 张国君 蒋百灵 陈迪春 严富学

西安理工大学学报2009，Vol.25Issue(4)：455-459,5.
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西安理工大学学报2009，Vol.25Issue(4)：455-459,5.

石墨靶材电流对Ti(C, N)多层膜微观组织及力学性能的影响

Effects of Graphite Target Current on Microstructure and Mechanical Properties of Ti(C, N) Multilayer Film

李斌 1张国君 2蒋百灵 1陈迪春 1严富学1

作者信息

  • 1. 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048
  • 2. 西安交通大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

Ti(C,N)/多层膜/石墨靶材

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李斌,张国君,蒋百灵,陈迪春,严富学..石墨靶材电流对Ti(C, N)多层膜微观组织及力学性能的影响[J].西安理工大学学报,2009,25(4):455-459,5.

基金项目

国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010). （863计划）

西安理工大学学报

OA北大核心CSTPCD

1006-4710

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