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EPA的实时监控与静电防护

曲利新

现代电子技术2010,Vol.33Issue(3):182-185,4.
现代电子技术2010,Vol.33Issue(3):182-185,4.

EPA的实时监控与静电防护

Real-time Monitoring and ESD Protection of EPA

曲利新1

作者信息

  • 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
  • 折叠

摘要

关键词

EPA(防静电工作区)/静电防护/ESD(静电放电)/实时监控

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曲利新..EPA的实时监控与静电防护[J].现代电子技术,2010,33(3):182-185,4.

现代电子技术

1004-373X

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