电子器件2010，Vol.33Issue(2)：135-138,4.
基片温度对TiO2薄膜的微观结构和紫外光电特性的影响
Effect of Substrate Temperature on the Microstructure of TiO2 Thin Films and UV Photoelectric Properties
刘子丽 1肖峻 1蒋向东 2孙继伟2
作者信息
- 1. 西南民族大学电气信息工程学院,成都,610041
- 2. 电子科技大学光电信息学院,成都,610054
- 折叠
摘要
关键词
TiO2薄膜/基片温度/直流磁控溅射/紫外光电特性分类
数理科学引用本文复制引用
刘子丽,肖峻,蒋向东,孙继伟..基片温度对TiO2薄膜的微观结构和紫外光电特性的影响[J].电子器件,2010,33(2):135-138,4.
