中北大学学报（自然科学版）2010，Vol.31Issue(5)：509-513,5.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2010.05.015
混合集成电容式加速度传感器的设计
Design of Hybrid Integrated Capacitance Accelerometer
马喜宏 1刘俊 1郭虎刚1
作者信息
- 1. 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051
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摘要
关键词
电容式加速度计/微小电容检测/全波整流/厚膜混合集成分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马喜宏,刘俊,郭虎刚..混合集成电容式加速度传感器的设计[J].中北大学学报（自然科学版）,2010,31(5):509-513,5.
