沈阳工业大学学报2010，Vol.32Issue(4)：375-379,410,6.
脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响
Influence of pulse bias on growth behavior of TiN film on Al alloy
摘要
关键词
TiN膜/铝合金衬底/脉冲偏压/薄膜生长/择优取向/柱状特征/硬质膜/结合强度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋贵宏,张硕,娄茁,李锋,陈立佳..脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响[J].沈阳工业大学学报,2010,32(4):375-379,410,6.基金项目
辽宁省科委博士科研启动基金资助项目(20041022) （20041022）
辽宁省教育厅科研资助项目(2004F006). （2004F006）
